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四氟化硅无色、有毒、有刺激性臭味的气体，易潮解，在潮湿空气中可产生浓烟雾。避免强酸，避免潮湿空气。在1318mmHg(四氟化硅1mmHg=133.322Pa)压力下的熔点(三相点)为-90.2℃。在-95.7℃升华。液体的相对密度为1.590(-88℃)。吸湿性非常强，但如果完全无湿气时，并不腐蚀玻璃、汞、四氟化硅活塞上的润滑脂、橡胶等。加压下变成液体，可以利用四氟化硅这一特点进行分馏提纯。本品对眼、皮肤、粘膜和呼吸道有严重损害。局部腐蚀作用强。严重中毒者可致肺炎、肺水肿。在对四氟化硅未知物分析的过程中发现用于氟硅四氟化硅酸及氟化铅的制取，也用作水泥和人造大理石的硬化剂，有机硅化合物的合成材料。本品不燃，有毒，具腐蚀性、刺激性，可致人四氟化硅体灼伤。 在潮湿空气中产生白色有腐蚀性和刺激性的氟化氢烟雾。遇水缓慢水解硅酸及氟化氢。