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三氟化磷成分检测三氟化磷在常温常压下为无色无味有毒气体。液态为无色透明。空气中不太发烟，相当稳定。加热时与氢反应生成PH3。纯度>99%。无色剧毒气体。熔点-151.5℃。沸点-101.8℃。密度3.907g/cm3，（-101.8℃）1.6g/ml。溶于乙醇。遇水则缓慢水解。遇碱溶液则分解。在空气中不发烟。除在高温外对玻璃不起化学浸蚀。可贮存在钢瓶中或有汞封的气体贮存器三氟化磷成分检测中。由三氯化磷与氟化氢反应制得。或以红磷与液体氟化氢在密闭系统中反应可制得纯度大于99%的产品。在电子工业中用作磷离子注入剂。在有机合成中用作氟化剂。
在对三氟化磷的未知物分析过程中发现，能被水缓慢分解成亚磷酸和氟化氢。碱中也能分解。可溶于乙醇。除在高温外，不腐蚀玻璃。